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集成電路用氫氟酸 - 含量的測定

更新日期:2022-06-24   瀏覽量:1224


T/ICMtia PC007-2021 集成電路用氫氟酸

范圍
本文件規(guī)定了集成電路用氫氟酸的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
本文件適用于集成電路制造過程中使用的氫氟酸。
分子式: HF
相對分子質(zhì)量: 20.01(按2014年國際相對原子質(zhì)量)。

要求
性狀
無色透明溶液,有揮發(fā)性,有刺激性氣味。
規(guī)格
集成電路用氫氟酸的規(guī)格分為: IC-1級、IC-2級和IC-3級。
技術(shù)要求
集成電路用氫氟酸的技術(shù)要求見表1。
表1.jpg

表1-1.jpg

注: 1、可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品;
      2、1μg/L=1ppb=1000ppt,1mg/kg=1ppm。

試驗(yàn)方法
含量的測定
試劑和材料
——?dú)溲趸c溶液,1.00mol/L;
——帶蓋PE燒杯。
儀器
自動滴定儀。
樣品制備
用移液槍或吸量管移取約0.5g(精確至0.0001g)的樣品至預(yù)先裝有60g左右水的帶蓋的PE燒杯中。
測定
按照自動滴定儀操作規(guī)程打開儀器,待機(jī)器處于穩(wěn)定狀態(tài)時,在自動滴定電腦界面上登入,選擇方法及樣品質(zhì)量等信息后點(diǎn)擊“開始"即可。分析結(jié)束后記錄數(shù)據(jù)。
取平行測定結(jié)果的算術(shù)平均值為測定結(jié)果,兩次平行測定結(jié)果的絕對差值不大于0.05%。


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